1、顶棚 顶棚材料多采用表面光滑材料，如彩钢板、塑料板、铝板、扣板，可以采用吸附力强的无尘抹布擦拭表面，并配合伸缩杆、安全带、脚手架、老虎夹等工具使用，对凸凹不平处、拐角可用超滤尘工业吸尘机吸尘。
2、墙面 墙面材料多采用表面光滑材料，如玻璃、彩钢板、塑料板、铝板、扣板、不锈钢板，可以采用吸附力强的无尘抹布、无尘抹水器擦拭表面，并配合玻璃刮、伸缩杆、老虎夹等工具使用，象清洗顶棚一样对凸凹不平处、墙角可用超滤尘工业吸尘机吸尘。
3、地面 地面材料多采用聚氨脂涂料、环氧树脂、人造革、水磨石，为了有效预防地面材料发尘和提高地面材料的使用寿命，可采用防静电积聚的蜡水打蜡。蜡面用超滤尘工业吸尘机吸尘或洗地吸干机洗地。
4、设施设备 用超滤尘工业吸尘机吸尘或用无尘抹布擦拭。
5、对风口、缝隙、阀门、灯具、门窗、管孔用超滤尘工业吸尘机吸尘或用无尘抹布擦拭。
6、清洁剂的使用要求：洁净厂房对湿度要求严格，尽量避免湿洗，必要时可用中性清洁剂，尽量少用酸性或碱性的清洁剂。清洁剂能消除静电更隹。